VU Boekhandel

Hoofdkenmerken

Auteur:	Singh, R.K.
Redactie:	Singh, R.K.
Titel:	Rapid Thermal Processing
Uitgever:	Elsevier Science & Technology
ISBN:	9780080436128
Serie:	European Materials Research Society Symposia Proceedings
Land van oorsprong:	United Kingdom
Prijs:	€ 149,00
Verschijningsdatum:	17-03-1999
Bericht:	Langere levertijd (2-3 weken)

Inhoudelijke kenmerken

Categorie:	Semi-conductors & super-conductors
Geillustreerd:	illustrations

Technische kenmerken

Verschijningsvorm:	Hardback
Paginas:	356
Hoogte mm.:	279
Breedte mm.:	210
Gewicht gr.:	50

Inhoud:

Rapid Thermal Processing (RTP) is a well established single-wafer technology in USLI semiconductor manufacturing and electrical engineering, as well as in materials science. This work talks about Rapid Thermal Processing.